條文全文
雇主對於常溫下具有自燃性之四氫化矽（矽甲烷）之處理，除依高壓氣體及消防相關法規規定外，應依下列規定辦理，並留存紀錄或文件三年：
一、作業前，應依中央主管機關公告之相關指引，就下列事項實施風險評估，並製作風險評估報告：
（一）製程或作業可能之危害。
（二）可能危害之防止設備及措施。
（三）危害防止設備及措施之維護方法。
（四）緊急應變措施。
二、氣體設備，應具有氣密之構造及防止氣體洩漏之必要設施，並設置氣體洩漏檢知警報系統。
三、氣體容器之閥門，應具有限制最大流率之流率限制孔。
四、氣體，應儲存於室外安全處所；如必須於室內儲存者，應置於有效通風換氣之處所；使用時，應置於氣瓶櫃內。
五、未使用之氣體容器與供氣中之容器，應分隔放置。
六、提供必要之個人防護具，並使勞工確實使用。
七、避免使勞工單獨操作。
八、設置冷卻用途之灑水設備。